ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (ኤንኤፍ 3) ከፍተኛ የንጽህና ጋዝ
መሰረታዊ መረጃ
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
ይህ ቁሳቁስ ምንድን ነው?
ናይትሮጅን ትሪፍሎራይድ (NF3) በክፍል ሙቀት እና በከባቢ አየር ግፊት ውስጥ ቀለም እና ሽታ የሌለው ጋዝ ነው. በመጠኑ ግፊት ሊፈስ ይችላል. NF3 በተለመደው ሁኔታ ውስጥ የተረጋጋ እና በፍጥነት አይበሰብስም. ይሁን እንጂ ለከፍተኛ ሙቀት ሲጋለጥ ወይም አንዳንድ ማነቃቂያዎች ሲኖሩ ሊበሰብስ ይችላል. NF3 ወደ ከባቢ አየር በሚለቀቅበት ጊዜ ከፍተኛ የአለም ሙቀት መጨመር (GWP) አለው።
ይህንን ቁሳቁስ የት መጠቀም ይቻላል?
በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ የጽዳት ወኪል፡- ኤንኤፍ 3 እንደ ኦክሳይድ ያሉ ቀሪዎችን ከሴሚኮንዳክተሮች ወለል፣ የፕላዝማ ማሳያ ፓነሎች (PDPs) እና ሌሎች የኤሌክትሮኒክስ ክፍሎችን ለማስወገድ እንደ ማጽጃ ወኪል በሰፊው ጥቅም ላይ ይውላል። እነዚህን ንጣፎች ሳይጎዳ በትክክል ማጽዳት ይችላል.
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የሚፈነዳ ጋዝ፡ ኤንኤፍ 3 ሴሚኮንዳክተሮችን በማምረት ሂደት ውስጥ እንደ አስማሚ ጋዝ ጥቅም ላይ ይውላል። በተለይም በሲሊኮን ዳይኦክሳይድ (SiO2) እና በሲሊኮን ኒትራይድ (Si3N4) ውስጥ በተቀናጁ ዑደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የተለመዱ ቁሳቁሶች በማጣበቅ ውጤታማ ነው.
ከፍተኛ-ንፅህና የፍሎራይን ውህዶች ማምረት፡- ኤንኤፍ 3 የተለያዩ ፍሎራይን የያዙ ውህዶችን ለማምረት ጠቃሚ የፍሎራይን ምንጭ ነው። ፍሎሮፖሊመር, ፍሎሮካርቦን እና ልዩ ኬሚካሎችን ለማምረት እንደ ቅድመ ሁኔታ ጥቅም ላይ ይውላል.
የፕላዝማ ማመንጨት በጠፍጣፋ ፓነል ማሳያ ማምረቻ፡ NF3 ከሌሎች ጋዞች ጋር በመሆን እንደ ፈሳሽ ክሪስታል ማሳያዎች (ኤልሲዲ) እና ፒዲዲዎች ያሉ የጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎችን ለማምረት ፕላዝማ ለመፍጠር ጥቅም ላይ ይውላል። ፓኔል በሚሠራበት ጊዜ ፕላዝማው በማስቀመጥ እና በማሳከክ ሂደቶች ውስጥ አስፈላጊ ነው.
ለዚህ ቁሳቁስ/ምርት አጠቃቀም የተወሰኑ አፕሊኬሽኖች እና ደንቦች እንደ አገር፣ ኢንዱስትሪ እና ዓላማ ሊለያዩ እንደሚችሉ ልብ ይበሉ። ይህንን ቁሳቁስ/ምርት በማንኛውም መተግበሪያ ውስጥ ከመጠቀምዎ በፊት ሁል ጊዜ የደህንነት መመሪያዎችን ይከተሉ እና ባለሙያ ያማክሩ።
